热成像技术目前在工业检测、医学诊断和科学研究等领域已 获得广泛的应用,成为有效的热诊断工具。但目前大多数热成像系统为望远工作模式,不适 宜应用在需要显微热分析和检测的场合,影响了对事物的认识和故障的分析,而实际却有许 多需要显微热分析和检测的场合。例如,在微电子集成巧片及其电路的设计、可靠性分析W 及缺陷检测中,需要利用显微热成像技术进行非接触测量诊断;在生物医学诊断中,需要利 用显微热成像技术对癌细胞的诊断与生长分析提供技术手段等。
显微热像仪,新开发的显微镜镜头尤其为热检查电子板的设计和分析的小芯片级降至28μm组件; 测量对象和热像机之间的距离可以改变80至100毫米(3.15和3.94);可通用PIConnect及SDKs开发包;在80-100mm间变焦。
